�a(ch��n)Ʒ����
SF6���w����Ŀǰ�l(f��)�F(xi��n)��zui��(w��n)���Ĝ���Ч��(y��ng)���w���ግ(sh��)�(y��n)�C����10.5um̎���Џ�(qi��ng)�ҵĹ��V����������SF6����׃�������ö�����̼��������խ���V��Ƭ�����`������•���̽�y�·����(w��n)���Ĺ�ز�����������·���_��ʽ��·�Y(ji��)��(g��u)��*���O(sh��)Ӌ(j��)�����ͼ��g(sh��)��(sh��)�F(xi��n)�ˌ����y�^(q��)����SF6���w��ȵČ�(sh��)�r(sh��)���ھ����_��ʽ���`���t�⼤����V�b�y��
SF6����׃�������ڷ����ͱ��^����(n��i)��ͬ�ИI(y��)���P(gu��n)���w�z�y�����Ļ��A(ch��)������*���_��ʽ��·���`���мt�⼤�����չ��V���g(sh��)��(y��ng)����SF6���w�z�y��*��������֪�R�a(ch��n)��(qu��n)������(n��i)*�����g(sh��)ˮƽ�_(d��)��������SF6����׃�����˷��˂��y(t��ng)��SF6�z�y�x����M(j��n)�вɘ����Ķ�ֻ�܌�(sh��)�F(xi��n)�c(di��n)ʽ�y�������c(di��n)�������_��ʽ��·������Ҫ�ɘӾ��ܜy���^(q��)����SF6���w�ĝ���������w������ģ�M��ݔ�롢�_�P(gu��n)��ݔ�����f(xi��)�h�D(zhu��n)�Q��ͨ�Žӿ��D(zhu��n)�Q����ݔ���_�P(gu��n)��ݔ�����Ƶȹ�����һ�w�����w�˹��I(y��)���Ƽ��O(ji��n)�yϵ�y(t��ng)�ĬF(xi��n)���ɼ����蹦�����ܸ���(j��)���N��(y��ng)�È��ϵľ��wҪ���M(j��n)���`�����õ������Ͳɼ�ϵ�y(t��ng)��
����SF6����׃�����C���\(y��n)�����_��ʽ��·���`���мt�⼤�����չ��V���g(sh��)����(sh��)��(j��)�ɼ�̎����ͨ�ż��g(sh��)��һ�w���_��ϵ�y(t��ng)ƽ�_���������й��ܾ�����ģ�K���O(sh��)Ӌ(j��)�����ڹ��̰��b�����̾S�o(h��)��ϵ�y(t��ng)���펧���Ԅ�(d��ng)���У��(zh��n)����������Ҫ�~��Ķ���У��(zh��n)��
�������c(di��n)
����׃����������ģ�M���ɼ���������l(f��)���c�⏊(qi��ng)�O(ji��n)�y��Ԫ��������Ն�Ԫ����̖̎���Ԫ�ȽM�����_(d��)����(sh��)�r(sh��)�O(ji��n)�y�^(q��)��՚���SF6���w��ȵ�Ŀ�ġ�����SF6����׃���������f��:
1.���^(q��)��՚���SF6���w�Ķ����z�y�������ܣ��\(y��n)���_��ʽ��·���`���мt�⼤�����չ��V���g(sh��)�������˼������폊(qi��ng)�Ȳ���(d��ng)�����h(hu��n)����Ӱ푣���
2.��(sh��)�r(sh��)�@ʾ�^(q��)��՚��е�SF6���w���ֵ�������O(sh��)�È�(b��o)���������(d��ng)�h(hu��n)����SF6���w��ȳ��^�O(sh��)���Ĉ�(b��o)��ֵ�r(sh��)�l(f��)������(bi��o)��(b��o)��������
3.ÿһ��(g��)SF6���w����̽�y���ɱO(ji��n)�y0.1~200m������(n��i)��SF6���׃��������Ҫ�κβɘ��b����ֻ��Ҫһ��(g��)�����������⽛(j��ng)�^Ҫ�O(ji��n)�y�ą^(q��)��󱻷���������؁����_(d��)̽�y�����͌�(sh��)�F(xi��n)�ˌ�����(g��)��·�е�SF6��ȵĜy����
4.���ü�����V���ռ��g(sh��)�z�y����SF6���wй¶�z�y���y�����ȿɸ��ڰ��f��֮һ���z�y�ֱ����_(d��)��1ppm�����������؏�(f��)�Ժã���(w��n)���ɿ���ʹ�É����L�����������������_��ʽ��·���g(sh��)�������˲ɘӶ��Ҍ�(sh��)�F(xi��n)�˴󷶇����B�m(x��)���g�ıO(ji��n)�y�������������������١� 
���g(sh��)����(sh��)